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2023年5月23日,日本经济工业省忽然发布了一项针对我国的出口控制细则,将23种半导体制作设备列入检查清单。这份控制文件里包括了清洗机、热处理设备、蚀刻东西、曝光设备等多个环节的要害配备,尤其是DUV光刻机,简直成了“精准冲击”的方针。
美国封闭的是EUV,不让我国搞最顶尖的芯片;而日本直接从45纳米卡起,一刀堵截了我国现有产线的“命脉”。日本为何需求对我国“下死手”?它终究是为了本身利益,仍是甘当美国的“马前卒”?这场封闭背面,又会对全球半导体格式带来哪些深远的改变?
2023年1月27日,美国、荷兰、日本三国在华盛顿到达一项半导体出口控制协议。这项协议的中心方针是约束我国获取先进制程的光刻设备与有关技能。其间,最狠的部分来自日本。3月31日,日本经济工业省迅速行动,修改了外汇法。
23种设备被列入出口批阅清单,7月23日开端正式施行。批阅流程从备案制变成逐案检查,耗时长、不确定性大,我国企业很难再顺畅拿到设备。曾经,我国芯片厂遇到设备毛病,一个电话,日本工程师或零件很快就能送到。
现在,修理请求一拖再拖,永远在“检查中”。一台价值几亿美元的DUV光刻机,就这样卡在一个小小的激光器模块上,变成了一台“贵重的废铁”。比起美国封闭先进设备的“增量”,日本更狠的当地是——它要动的是“存量”。也便是那些已在我国工厂里工作的设备,不让你继续用下去。
日本企业对我国的长途技能上的支撑简直完全中止。曾经靠长途就能完结的软件晋级、参数调试,现在都需求工程师上门。而日本企业又不批签证、不批服务,设备一出问题,修理时刻无限拉长。
良率下降,本钱飙升,产线功率暴降,巨额丢失接二连三。对芯片厂来说,良率哪怕下降1%,都是几百万美元的亏空。光刻胶,是封闭中的另一把“软刀子”。这是一种用于芯片图画搬运的高端化学品,被称作半导体的“血液”。没有它,光刻机就像没墨水的打印机,再高端也毫无用处。
从2023年6月开端,日本信越化学以“原资料不安稳”为由,暂停对部分我国企业供给KrF光刻胶,打响了资料封闭的榜首枪。JSR、东京应化等公司随后跟进,加长批阅周期、进步出口门槛、要求签署极端严苛的“终究用处”承诺书,乃至约束第三方转口。
光刻胶不像光刻机那样能够长时间囤货,保质期只要六个月,一旦断供,产线年,日本再次加码。
10月,日本新增一份“终究用户清单”,110家我国企业被列入约束名单。连用于芯片冷却的设备都被归入管控规模。外媒谈论:日本这套打法,不是点对点,而是全链条掩盖,从出产设备、要害零部件到耗材,一刀堵截。
这场封闭,让我国芯片厂每月885万片的晶圆出产能力面对巨大要挟。芯片企业被逼很多囤货,光刻胶价格一度飙涨30%,仍难挡“断供”的暗影。有外媒描述,我国芯片厂正处于“随时断炊”的焦虑中。
日本的狠手,也不是没有价值。尼康、东京威力科创等企业的财报显现,自2023年起,对华营收暴降,股价剧烈动摇。东京威力高管暗里供认,“失掉我国商场,等于断了一条腿。”
JSR 2024年下半年对华营收下滑22%,TOK更是呈现十年来初次亏本。日本光刻胶职业本来依靠我国商场占比超越53%,现在被逼减产、裁人。库存积压、胶体过期、客户丢失,企业苦不堪言。
这场封闭,反而成了我国半导体工业转型的催化剂。2024年末,上海微电子成功向中心客户交给首台28纳米DUV浸没式光刻机样机。虽然还不如ASML、尼康的老练产品安稳,但这标志着我国完成了从0到1的要害打破。
2025年,SMEE继续推动,光刻机国产率到达85%,方针是年末前完成批量交给。华为东莞工厂展开压力测验,国产光刻机功率从2%提高至4.5%,进入试产阶段。EUV光刻机也进入样机测验阶段,精度追逐ASML,国产代替正从底部逐渐爬高。
光刻胶范畴相同迎来打破。南大光电的ArF光刻胶经由中芯世界验证,开端小批量供货,成功应用在14纳米及以上工艺的非要害层。晶瑞电材、北京科华的KrF光刻胶也逐渐完成批量化供给,虽然与日本仍有距离,但现已能顶一部分“急用”。
国产化率从2023年的25%,提高至2025年的近40%。背面,是我国政府强有力的支撑。出台《“十四五”原资料工业发展规划》《新工业标准化工程施行方案》,为半导体资料公司能够供给“税收两免三折半”方针,研制开销大幅下降。
2024年起,国家大基金第三期专投光刻机、光刻胶等“卡脖子”项目,全年投入超越200亿元。姑苏、无锡、合肥等地建立专项基金,当地政府也开端“砸钱”。
人才,是另一个破局要害。高校增设半导体资料、微电子配备专业,企业与校园共建实训基地。让学生在校园就能触摸实在设备,提早进入项目团队,打通“从讲堂到车间”的人才通道。
一起,经过股权鼓励、科研奖金、住房补贴等方法,招引海内外高端技能人才回流。面对封闭,我国不只没有被打垮,反而在窘境中找到了自己的节奏。2025年9月,我国本乡晶圆代工厂在老练制程上的全球商场占有率提高,成为全世界产能扩张的要害力气。
光刻胶产能扩张、光刻机国产化加快,我国半导体工业链正在重塑,逐渐脱节对外依靠。日本企业却堕入两难。一方面要合作政府方针,封闭我国商场;另一方面又得面对订单骤减、赢利缩水的实际。信越化学库存堆积,JSR客户丢失,日产量下降,企业压力山大。
2025年,日本政府不得不举行闭门会议,研讨怎么样“修正”与我国的半导体交易。外媒谈论指出,日本这波“封机断胶”,的确给我国制作带来了不小的费事。但在“卡脖子”压力下,我国反而坚决了走自主立异的路途。从“造不如买”,到“造是仅有的出路”,我国工业界的认知完全改变。
华为、宁德年代等下流企业也开端向上游延伸,战略出资资料、设备企业,构建自己的供给链安全网。更深层次的影响,是全球半导体供给链的重组。日本的狠手,不只伤了我国,也让自己面对“被代替”的危险。我国自研打破,意味着未来日本在全球商场的比例将被逐渐蚕食。
美国、欧洲、印度虽有代替潜力,但基础设施、技能储备都难以添补我国留下的“大缺口”。我国的包围之路,不是空喊标语,而是一步一个脚印的技能堆集。2025年,SMEE出货量到达500台,国产光刻机在国内商场的占有率超越90%。国产EUV原型机进入试产,精度、功率双双提高。
国内资料厂商也逐渐向高端挨近,光刻胶、电子气体、掩膜版等范畴完成要害代替。这场没有硝烟的技能战,日本下的是狠手,打的是“七寸”。但也正是这股狠劲,反而逼出了我国半导体工业的“硬骨头”。
日本对我国芯片工业的封闭,的确手法狠辣,影响深远。但我国并没有被压垮,反而借封闭之力,推动了技能自主的全面提速。这场对决的结局还远未到来,但我国已在这场科技博弈中,走出了归于自己的路。
[2]我国拿到论文也造不出EUV?日本光刻胶巨子JSR被批“高傲” 观察者网
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